【伯东公司供应】德国普发Pfeiffer真空泵,涡轮分子泵,分子泵 Hipace 1000-2000 l/s
涡轮分子泵广泛应用于高真空以及超高真空领域。从公司发明涡轮分子泵以来一共销售了28万台分子泵。利用涡轮分子泵可以产生高真空或者超高真空,极限真空度达10-11 mbar。
德国 Pfeiffer涡轮分子泵Hipace 1000-2000 l/s 产品优点:
1. 四种抽速,抽速为自1,000 至 2,000 l/s
2. 对于分子量较小气体以及分子量较大气体的高抽速
3. 适用各种工艺如刻蚀, 溅镀, 要求,耐粉尘
4. 高气流量,即使对于分子量较大的气体
5. 集成的 TC 1200 驱动单元,可直接连接一般电源
6. 支援腐蚀气体
7. 带节气阀门的集成密封气体系统
8. 标准接口界面:RS-485 以及远程控制;Profibus 或者 DeviceNet 可供选择
9. 符合 IP 54 防护标准,适用于工业应用环境
10. 符合 Semi S2 规范
11. 符合 UL, CSA 以及 TÜV 认证
德国 Pfeiffer涡轮分子泵Hipace 1000-2000 l/s 系列产品技术参数:
型号 连接尺寸 DN 抽速 l/s 压缩比 最高启动压强mbar 冷却方式 启动时间 重量
进气口 出气口 氮气N2 氦气He 氢气 H2 氮气 N2 氮气N2 min kg
HiPaceTM 1200 200 40 1,250 1,300 1,100 >108 2 水冷 2.5 40
HiPaceTM 1500 250 40 1,450 1,350 1,150 >108 2 水冷 2.5 41
HiPaceTM 1800 200 40 1,450 1,650 1,700 >108 1.8 水冷 4 34
HiPaceTM 2300 250 40 1,900 2,050 1,850 >108 1.8 水冷 4 37
德国 Pfeiffer涡轮分子泵Hipace 1000-2000 l/s 适用领域:半导体生产 2. 真空炉 3. 质谱分析 4. 研发及化工行业 5. 玻璃及刀具镀膜
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伯东企业(上海)有限公司是德国普发授权代理商。伯东真空主营产品德国 Pfeiffer 涡轮分子泵, 干式真空泵, 罗茨真空泵, 旋片真空泵; 应用于各种条件下的真空测量(真空计, 真空规管); 氦质谱检漏仪;质谱分析仪;真空镀膜机,真空系统以及HVA 真空阀门, Polycold 冷冻机. CTI 低温泵和美国KRI 离子源.Gamma离子泵。离子刻蚀机等
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